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電子制造過程中的靜電及靜電防護

  
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 ESD(ElectrostaticDischarge)即靜電釋放:兩個帶不同靜電電平的物體,通過直接接觸或靜電電場的作用會使兩物體的靜電電荷發生位移,當靜電電場達到一定能量,之間的介質被擊穿而產生放電,這就是ESD的全過程。例如,在干燥的秋冬季節,推開門,開關抽屜,整理書籍,甚至按下計算機開關都有靜電累積和釋放的現象,可以說,我們就生活在一個靜電的世界。由于生活中靜電無處不在,所以,ESD也經常發生,大到電閃雷鳴,小到脫毛衣時迸出火花,都屬于此列。我們可以按以下描述簡單判斷ESD的強弱,當放電電壓低于3KV時,ESD過程就會發生,但我們不會感覺到,電壓大于3KV時,人體有輕微麻麻的感覺,當電壓大于6KV時,我們會聽到“劈啪”的放電聲,而當電壓大于8KV時,同時還會伴隨快速的電弧火花出現了。

  隨著科學技術的飛速發展,電子、通信、航天、航空等高新技術產業的迅速崛起,尤其是電子儀器儀表和設備等電子產品日趨小型化、多功能及智能化。高密度集成電路已成為電子工業對上述要求中不可缺少的器件。這種器件具有線間距短、線細、集成度高、運算速度快、低功率和輸入阻抗高的特點,因而導致這類器件對靜電越來越敏感。靜電放電是導致元器件擊穿危害和對電子設備的運行產生干擾的主要原因。在電子產品的生產中,從元器件的預處理、安裝、焊接、清洗、至單板測試、總測、直到包裝、儲存、發送等工序,都可能產生對器件的靜電放電擊穿危害。因此,靜電防護顯得越來越重要。靜電作為一種自然現象,不讓它產生幾乎是不可能的,但是,把它的存在控制在危險的水平之下,使其造成的損失盡可能減小,則是可以做得到的。有效地進行靜電防護與控制,依賴于對靜電現象的認識和對其發生、存在、消除的控制;依賴于掌握和了解靜電與環境條件的關聯性和靜電發生的規律。

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  1.靜電的產生

  在電子組裝工業中,產生靜電的主要途徑為:摩擦、感應和傳導。

  1.1摩擦

  在日常生活中,任何兩個不同材質的物體接觸后再分離,即可產生靜電,而產生靜電的最普通方法,就是摩擦生電。材料的絕緣性越好,越容易產生摩擦生電。另外,任何兩種不同物質的物體接觸后再分離,也能產生靜電。

  1.2感應

  針對導電材料而言,因電子能在它的表面自由流動,如將其置于一電場中,由于同性相斥,異性相吸,正負電子就會轉移。

  1.3傳導

  針對導電材料而言,因電子能在它的表面自由流動,如與帶電物體接觸,將發生電荷轉移。

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  2.靜電對電子產品的危害

  靜電對電子產品的危害有多種形式,并具有自身的特點。

  2.1靜電危害的形式

  靜電的基本物理特性為:吸引或排斥,與大地有電位差,會產生放電電流。這三種特性對電子元器件的三種影響如下:

  1)靜電吸附灰塵,降低元器件絕緣電阻(縮短壽命)。

  2)靜電釋放(ESD)破壞,造成電子組件不能工作。表1列出了一些常見電子元器件所能承受靜電破壞的靜電電壓,從表中可以看出大部分器件的靜電破壞電壓都在幾百至幾千伏,而在干燥的環境中,人類活動所產生的靜電可達幾千伏到幾萬伏。圖2是一個CMOS器件和一個雙極型器件在受到ESD損傷后芯片內部的相貌圖片。

  3)靜電放電產生的電磁場幅度很大(達幾百伏/米)頻譜極寬(從幾十兆到幾千兆),對電子產品造成干擾甚至損壞(電磁干擾)

  這三種形式對元器件造成的損傷,既可能是永久性的(如功能喪失,不能恢復),也可能是暫時性的(如靜電放電產生的干擾使功能暫時喪失);既可能是突發失效,也可能是潛在失效。其中靜電釋放(ESD)事件是造成元器件損傷最常見和最主要的原因。

  2.2靜電危害的特點

  相對于其它應力,靜電對電子產品危害存在以下一些特點:

  1)隱蔽性。人體不能直接感知靜電除非發生靜電放電,但是發生靜電放電人體也不一定能有電擊的感覺,這是因為人體感知的靜電放電電壓為2-3KV,所以,靜電具有隱蔽性。

  2)潛在性。即器件在受到ESD應力后并不馬上失效,而會在使用過程中逐漸退化或突然失效。這時的器件是“帶傷工作”。這是人們對靜電危害認識不夠的一個主要原因。實際上,靜電放電對元器件損傷的潛在性和累積效應會嚴重地影響元器件的使用可靠性。由于潛在損傷的器件無法鑒別和剔除,一旦在上機應用時失效,造成的損失就更大。而避免或減少這種損失的最好辦法就是采取靜電防護措施,使元器件避免靜電放電的危害。

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