局部蓄積法是用塑料布將測量部位包扎，經過數小時后，再用檢漏儀測量塑料布內是否有泄漏的SF6氣體，它是目前較常采用的定性檢漏方法。
　　
　　運行實踐證明，SF6斷路器易漏部位主要有：各檢測口、焊縫、充氣嘴、法蘭連接面、壓力表連接管、密封底座等。GIS的常見漏氣點有：焊縫、法蘭結合面、充氣嘴和壓力表等處。
　　
　　定量測量有掛瓶檢漏法和局部包扎法，應在充氣24h后進行。可采用LDD2000型檢漏儀作為定量測量儀，使用安全方便，比較理想。定量測量的判斷標準為年漏氣率不大于1%。
　　
　　濕度的測量。濕度測量應在氣室的濕度穩定后進行，一般在封閉式組合電器充氣24h后進行。可使用露點微水測試儀或DP19-SH-Ⅲ型SF6微水測量儀測試。SF6氣體中水分含量要求值(PPm，V/V)見表1。

表1　水分含量要求值

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　　當用不同儀器測量同一臺設備時，有可能得到不同的數據，這可能除與儀器本身的性能有關外，與所用的氣體管路和操作等因素有關，建議使用同一臺儀器測量，以保持數據的可比性。在對氣體進行測量前，應對氣路接頭進行干燥處理，以免影響測量的準確性。
　　
　　4　SF6電力設備維修應注意的事項
　　
　　SF6氣體作為絕緣和滅弧介質封閉在SF6電力設備中，由于制造質量和安裝工藝、密封元件的老化等原因，SF6設備的泄漏是難以避免的，水分的滲入現象也是存在的。氣體泄漏和水分滲入是影響SF6設備能否長期安全運行的關鍵，應予以高度關注。
　　
　　(1)當需要補氣時，應對SF6新氣體按新氣質量標準驗收，新SF6氣體的純度不應小于99.8%，充入設備后的純度不應小于97%。四氟化碳、空氣、水分、純度、酸度等八項技術指標應符合國家標準。充氣前，所有管路必須沖洗干凈，充氣后使氣壓稍高于要求值。水分含量的檢測，應由專業人員使用專用儀器進行，并防止在現場檢測時水分乘機滲入。
　　
　　(2)進入氣室工作時，應事先對氣室進行充分換氣。在氣室含氧量達到18%以上時方可入室工作。
　　
　　(3)SF6電力設備復裝時，密封槽面應清潔，無劃傷痕跡，應選用由氯丁橡膠等優質材料特殊配方生產的密封圈；已用過的密封(墊)圈，不得再使用；涂密封脂時，不得使其流入密封(墊)圈內側而與SF6氣體接觸。
　　
　　(4)SF6電力設備檢修時，一是作業人員應嚴格按工作票上所指定的工作地點和在指定的設備上作業；二是檢修工藝規范化。即作業人員的職責、執行規章制度的嚴格程度、技術標準和工藝標準等加以具體的規定和量化，使之有章可循，有據可依。
　　
　　SF6電力設備新產品新技術正在不斷出現和迅速發展，該設備具有小型化、復合化和智能化，高科技含量高。檢修運行人員必須掌握SF6電力設備的基礎理論知識，熟練掌握有關技術規程、工藝標準和操作程序，使SF6電力設備發揮更好的作用。