1、每周至少檢查真空泵油面高度一次，當油的液面高度處于最高和中間時，泵具有最佳的性能和使用壽命。如果油位過低，就應考慮補加ARL專用真空油，如果真空度讀數過高或者油面比較混濁、較黑時，就應考慮更換真空油了。加油或更換油時請與ARL工程師聯系進行指導，防止操作不當造成真空油倒抽。
2、位于儀器后部的風扇濾塵器，應至少每月清理一次。
3、每分析200個樣品后要對激發臺火花室部分進行清理。
4、做樣每打點一次用鋼絲刷刷電極并用脫脂棉擦試積碳，不得打重疊點。
5、操作不得用濕手。
6、使用過程中出現異常，要停止使用，并通知維修人員進行修理。