1 開機前要檢查確認零部件無松脫、卡死現象。
2 開啟冷卻水泵，保持冷卻水循環，冷卻水出水溫度不應超過35℃進水溫度差以不超過5℃為宜。
3 真空泵使用場所必須清潔干凈，泵溫升不大于30℃。
4 設備使用后必須清潔、擦拭干凈，關停動力電源、冷卻水等。
5 新機100-200小時運轉后換油，以后2-3個月換油一次。換出的油不能加入油杯。
6 每半年必須將閥門、儀表、儀器、電路修復、檢驗和檢查一次。
7 8000-12000小時運轉后必須進行大修，更換磨損機件、修復精度。（注意儀表真空度顯示可判斷機器運轉是否正常，管道及是否有泄漏）。
8 按規定位置進行加油：
曲軸箱用30-40號機械油，
油杯用真空泵油或10-20號機械油（以每分鐘10-14滴為宜）