擴散泵、油增壓泵換油注意事項：
　　
　　選用品質好的油品；
　　
　　換油時應全部倒出舊油；
　　
　　用溶劑汽油或專用清洗劑清洗泵內全部零件，并用丙酮或乙謎擦干，放在烤箱中烘干，也可用吹風機吹干；
　　
　　按原來部位安裝好泵內外零件，噴嘴應在泵腔中部；
　　
　　操作者應手戴白紗脫脂手套裝配，按要求量倒入擴散泵油或增壓泵油；
　　
　　擴散泵使用中產生的問題及排除方法：
　　
　　真空度偏低：
　　
　　檢查前級真空；
　　
　　檢查冷卻水是否暢通，水溫是否偏高；
　　
　　冷卻水管有沒有部分堵塞；
　　
　　電爐絲功率偏大或偏小；
　　
　　供電電壓是否偏低；
　　
　　各噴油嘴裝配不正確；
　　
　　規管測量不準確；
　　
　　儀表或導線不正常；
　　
　　真空系統是否漏氣；
　　
　　工作室經長期使用殘留鍍層是否太厚；
　　
　　由操作不當引起的油品很快氧化，即變紅或變黑：
　　
　　檢查工作是是否忘記打開冷水；
　　
　　真空系統存在較嚴重漏氣；
　　
　　擴散泵在工作時大氣進入了擴散泵內；
　　
　　工作室內有可揮發氣體或灰塵進入泵腔內。