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潔凈室及相關受控環境 第14部分：按粒子濃度評估設備適用性

標 準 號： GB/T 25915.14-2022
替代情況：
發布單位： 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 中國標準化協會、江蘇富泰凈化科技股份有限公司、天津大學、中國建筑科學研究院有限公司等
發布日期： 2022-12-30
實施日期： 2023-07-01
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更新日期： 2023年04月17日
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內容摘要

本文件適用于評估在潔凈室及相關受控環境中使用的機械、測試設備、工藝設備、部件及工具等設備的適用性。根據GB/T 25915.1，關注懸浮粒子粒徑范圍為0.1 μm至大于或等于5 μm。

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