本文件依據潔凈室及相關受控環境空氣中具體化學物質（種、組或類）的濃度，對空氣化學污染進行分級。同時，本文件分級技術要求，給出了包括檢測方法、分析方法和時間加權系數在內的規程。
本文件目前只考慮潔凈室運行工況下空氣中100g/m3～10-12g/m3的化學污染物濃度。
本文件不涉及那些空氣中雖有化學物質存在、但不認為對產品或工藝有危害風險的行業、工藝和生產。
本文件無意探討空氣化學污染物的特性。
本文件不包含對表面化學污染的分級。