本文件規(guī)定了氧化銦錫靶材(以下簡稱ITO 靶材)的分類、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標 志、包裝、運輸與貯存、隨行文件和訂貨單內容。
本文件適用于由In2O3 和SnO2 粉末按照一定比例混合,以常壓燒結工藝生產(chǎn)的氧化銦錫靶材,是制 作透明導電薄膜的核心材料。
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