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硅及其它電子材料晶片參考面長度測量方法

標 準 號： GB/T 13387-2009
替代情況： 替代 GB/T 13387-1992
發布單位： 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位： 有研半導體材料股份有限公司
發布日期： 2009-10-30
實施日期： 2010-06-01
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更新日期： 2025年03月12日
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內容摘要

本標準用于標稱圓形晶片邊緣平直部分長度小于等于65mm 的電學材料。本標準僅對硅片精度進行確認,預期精度不因材料而改變。
本標準適用于仲裁測量,當規定的限度要求高于用尺子和肉眼檢測能夠獲得的精度時,本標準也可用于常規驗收測量。?

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