本標準規(guī)定了α角的測量方法,α角為垂直于圓型硅片基準參考平面的晶向與硅片表面參考面間角。
本標準適用于硅片的參考面長度范圍應符合GB/T 12964和GB/T 12965中的規(guī)定,且硅片角度偏離應在-5°到+5°范圍之內。
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