本文件規定了六氯乙硅烷中鈉、鎂、鋁、鉀、鈣、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、鎵、砷、鉛、鋇、鋰、鍶、鉍、鉬等元素的電感耦合等離子體質譜儀測定方法。
本文件適用于六氯乙硅烷中雜質元素含量的測定，各元素測定范圍為0.01ng/g～50ng/g。
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