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硅片表面光澤度的測試方法

標 準 號： GB T 42789-2023
替代情況：
發布單位： 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 上海合晶硅材料股份有限公司、麥斯克電子材料股份有限公司、廣東金灣高景太陽能科技有限公司等
發布日期： 2023-08-06
實施日期： 2024-03-01
點 擊 數：
更新日期： 2023年09月19日
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內容摘要

本文件描述了采用光反射法以20°、60°或85°幾何條件測試硅片表面光澤度的方法。 ?
本文件適用于硅腐蝕片、拋光片、外延片表面光澤度的測試，不適用于表面有圖形的硅片的測試。

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