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氯硅烷組分含量的測定 氣相色譜法

標 準 號： YS/T 1392-2020
替代情況：
發布單位： 中華人民共和國工業和信息化部
起草單位： 江蘇中能硅業科技發展有限公司、新疆協鑫新能源材料科技有限公司 等
發布日期： 2020-12-09
實施日期： 2021-04-01
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更新日期： 2022年06月07日
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內容摘要

本標準規定了氣相色譜法測定多晶硅生產用氯硅烷中各組分含量的方法。
本標準適用于多晶硅生產用氯硅烷中各組分含量的測定。測定范圍（體積分數）：二氯二氫硅為0.01 %～20 %，三氯氫硅、四氯化硅為0.01 %～100 %。

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