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多晶硅副產品 四氯化硅

標 準 號: YS/T 1195-2017
替代情況:
發布單位: 中華人民共和國工業和信息化部
起草單位: 洛陽中硅高科技有限公司、多晶硅材料制備國家工程實驗室 等
發布日期: 2017-07-07
實施日期: 2018-01-01
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更新日期: 2022年05月28日
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內容摘要

本標準規定了多晶硅副產品四氯化硅的要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸、貯存、質量證明書等。
本標準適用于多晶硅生產過程中產生的副產品四氯化硅。該產品主要作為生產光纖四氯化硅、氣相二氧化硅、氫化生產三氯氫硅、有機硅和石英玻璃等產品的原料。

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