本標準規定了硅單晶腐蝕片的牌號及分類、要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸、貯存、質量證明書和訂貨單（或合同）內容。
? ?本標準適用于直拉法、懸浮區熔法（包括區熔中子嬗變和氣相摻雜）制備的硅單晶研磨片經化學腐蝕液去除表面損傷層后制備的酸腐蝕片和堿腐蝕片。產品主要用于制作晶體管、整流管、特大功率晶閘管、光電器件等半導體元器件或進一步加工成硅拋光片。