本文件規(guī)定了碳化硅單晶中硼、鋁、氮雜質(zhì)含量的二次離子質(zhì)譜測(cè)試方法。
本文件適用于碳化硅單晶中硼、鋁、氮雜質(zhì)含量的定量分析，測(cè)定范圍為硼含量不小于5×1013 cm-3、鋁含量不小于5×1013 cm-3、氮含量不小于5×1015 cm-3，元素濃度（原子個(gè)數(shù)百分比）不大于1%。
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