本標準規定了氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的氣相色譜質譜聯用的測定方法。
本標準適用于氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的測定。氯硅烷中三氯氧磷的測定范圍為0.3 μg/kg～100 μg/kg，三氯化磷的測定范圍為3 μg/kg～100 μg/kg。