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微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 固體含量測定

標 準 號: GB/T 17473.1-2008
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位: 貴研鉑業(yè)股份有限公司
發(fā)布日期: 2008-03-31
實施日期: 2008-09-01
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更新日期: 2020年11月06日
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內(nèi)容摘要

本部分規(guī)定了微電子技術(shù)用貴金屬漿料中固體含量的測試方法。
本部分適用于各種燒結(jié)型和固化型微電子技術(shù)用貴金屬漿料固體含量的測定。 本部分代替GB/T17473.1—1998《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 固體含量測定》。
本部分與GB/T17473.1—1998相比,主要有如下變動:
———將原標準名稱修改為微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 固體含量測定;
———刪除了引用文件GB/T2421—1989;
———本部分增加了聚合物低溫固化型漿料的固體含量測定內(nèi)容;
———對于聚合物低溫固化漿料,根據(jù)漿料使用溫度的不同來確定檢測固體含量的溫度;
———漿料平行取樣由兩份增加為三份;
———刪除了中溫燒成漿料的內(nèi)容,將高溫燒成漿料改為燒結(jié)型漿料;
———試料相互之間測試值之差不大于平均值的1%測定結(jié)果有效。

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