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微電子技術用貴金屬漿料測試方法 方阻測定

標 準 號: GB/T 17473.3-2008
發布單位: 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位: 貴研鉑業股份有限公司
發布日期: 2008-03-31
實施日期: 2008-09-01
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更新日期: 2020年11月06日
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內容摘要

本標準規定了微電子技術用貴金屬漿料中方阻的測定方法。本部分適用于微電子技術用貴金屬漿料方阻的測定。 本標準是對GB/T17473—1998《厚膜微電子技術用貴金屬漿料測試方法》(所有部分)的整合修訂,分為7個部分.本部分為GB/T17473—2008的第3部分。
本部分代替GB/T17473.3—1998《厚膜微電子技術用貴金屬漿料測試方法 方阻測定》。
本部分與GB/T17473.3—1998相比,主要有如下變動:
———將原標準名稱修改為微電子技術用貴金屬漿料測試方法 方阻測定;
———增加低溫固化型漿料方阻的測定方法;
———原標準的原理中,“將漿料用絲網印刷在陶瓷基片,經過燒結后,膜層在一定溫度及其厚度、寬度不變的情況下……”修改為:“將漿料用絲網印刷在陶瓷基片或有機樹脂基片上,經過燒結或固化后,膜層在一定溫度及厚度、寬度不變的情況下”;
———測厚儀修改為:光切顯微測厚儀用于燒結型漿料:范圍為0mm~5 mm,精度為0.001 mm。千分尺用于固化型漿料:范圍為0mm~5mm,精度為0.001mm。

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