本標準規(guī)定了采用惰性氣體熔融及紅外技術測試硅材料中氧含量的方法。
本標準適用于不同導電類型、不同電阻率范圍的硅單晶、多晶硅中氧含量的測試，測試范圍為2.5×1015 cm-3（0.05 ppma）～2.5×1018 cm-3（50 ppma）。
注：硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子數(shù)計。