本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用光學(xué)投影儀測(cè)量硅片直徑的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量圓形硅片的直徑,可測(cè)最大直徑為300 mm。本標(biāo)準(zhǔn)不適用于測(cè)量硅片的不圓度。
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