本標準適用于檢測硅單晶中的電活性元素硼(B)、磷(P)、砷(As)、鋁(Al)、銻(Sb)和鎵(Ga)的含量。
本標準所適用的硅中每一種電活性元素雜質或摻雜劑濃度范圍為(0.01×10-9~5.0×10-9)a。
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