本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用熱氧化和化學(xué)擇優(yōu)腐蝕技術(shù)檢驗拋光片或外延片表面因沾污造成的淺腐蝕坑的檢測方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于檢測<111>或<100>晶向的p型或n型拋光片或外延片,電阻率大于0.001Ω·cm。