本文件定義了與熱陰極電離真空計相關的術語,并規定熱陰極電離真空計制造商要給出的具體參數,以及在操作這些儀表時,需要考慮的測量不確定度分量。原因如下。
a) 本文件更新了ISO 3529-3:1981中給出的一些術語和定義。
b) 熱陰極電離真空計通常用作參考標準,本文件為適用的實驗室明確規定了便于在高真空和超高真空下正確校準真空計的相關信息。使用電離真空計開展高真空和超高真空的可溯源壓力測量時,適于在制造商說明書中引述含有真空計相關參數和特征的信息。
c) 本文件還列出了與電離真空計壓力測量相關的重要的不確定度分量,也給出了這些不確定度分量的評估指南。對于某些當前或未來的真空計來說,不確定度分量的清單可能并不全面。
d) 將電離真空計用作參考標準時,本文件是對ISO/TS 3567和 ISO/TS 27893的補充。
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