本文件描述了采用顯微散射暗場成像法對光學(xué)元件表面疵病進(jìn)行定量檢測的檢測原理、試驗(yàn)條件、
儀器設(shè)備、樣品、檢測步驟和試驗(yàn)數(shù)據(jù)處理和檢測報(bào)告。
本文件適用于平板類雙面拋光光學(xué)元件表面疵病的長度、寬度、擋光面積以及疵病位置檢測。