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硅基MEMS制造技術 體硅壓阻加工工藝規范

標 準 號: GB/T 32815-2016
替代情況:
發布單位: 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位: 北京大學、中機生產力促進中心、大連理工大學、東南大學、北京青鳥元芯微系統科技有限公司
發布日期: 2016-08-29
實施日期: 2017-03-01
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更新日期: 2025年01月15日
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內容摘要

本標準規定了采用體硅壓阻工藝進行MEMS器件加工時應遵循的工藝要求和質量檢驗要求。? ?
本標準適用于硅基MEMS制造技術中基于背腔腐蝕和硅?玻璃鍵合的體硅壓阻加工工藝的加工和質量檢驗。

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