本部分規定了用于定期驗證和調整區域法表面結構測量儀器的實物測量標準的特性。
本部分適用于基于區域法表面結構標準鏈,鏈環G定義的輪廓表面結構和區域表面結構測量儀器的計量特性校準的測量標準。
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