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真空技術 四極質譜檢漏方法

標 準 號: GB/T 35049-2018
替代情況:
發布單位: 國家市場監督管理總局
起草單位: 北京衛星環境工程研究所、合肥智海光電技術有限公司、安徽皖儀科技股份有限公司、沈陽真空技術研究所
發布日期: 2018-05-14
實施日期: 2018-12-01
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更新日期: 2018年08月10日
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內容摘要

本標準規定了四種常用的四極質譜檢漏方法實施的一般要求,每種檢漏方法在應用對象、系統組成、檢漏程序等方面的要求以及對檢漏文件的要求。
本標準適用于真空行業以及其他行業中采用四極質譜儀進行的泄漏檢測工作,適用于部組件級、分系統級以及系統級產品的密封性能測試。

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