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全方位離子注入與沉積制備類金剛石碳膜 技術條件

標 準 號： QJ 20505-2016
替代情況：
發布單位： 國家國防科技工業局
起草單位： 國營一四九廠
發布日期： 2016-01-19
實施日期： 2016-03-01
點 擊 數：
更新日期： 2017年12月28日
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內容摘要

本標準規定了全方位離子注入與沉積技術制備的類金剛石碳膜的質量要求、質量保證規定和包裝、貯存和運輸及技術安全及環境保護要求。

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