本文件給出了靜電控制參數實時監控系統（以下簡稱“監控系統”）的架構和靜電控制參數類型，規定了監控系統的功能要求和性能要求，描述了對應的測試方法。
本文件適用于監控系統的研發、設計、生產、檢驗和使用。
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