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光伏電池用硅材料中P、As、Sb施主雜質含量的二次離子質譜測量方法

標 準 號： GB/T 29852-2013
替代情況：
發布單位： 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位： 信息產業專用材料質量監督檢驗中心、中國電子技術標準化研究院、國家電子功能與輔助材料質量監督檢驗中心
發布日期： 2013-11-12
實施日期： 2014-04-15
點 擊 數：
更新日期： 2024年11月14日
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內容摘要

本標準規定了用二次離子質譜儀(SIMS)測定光伏電池用硅材料中磷、砷和銻含量的方法。
本標準適用于光伏電池用硅材料中施主雜質磷、砷和銻含量的定量分析,其中磷、砷和銻的濃度均大于1×1014atoms/cm3。

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