本文件規(guī)定了晶體硅光伏電池用管式等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積（PECVD）設(shè)備的術(shù)語和定義、型號命名、工作環(huán)境、要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、搬運(yùn)和運(yùn)輸、貯存等。
本文件適用于晶體硅光伏電池用管式 PECVD 設(shè)備，產(chǎn)品主要用于在晶體硅光伏電池減反射膜、鈍化膜的淀積與氫鈍化。