本文件規(guī)定了晶體硅光伏電池用板式等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積（PECVD）設(shè)備的術(shù)語(yǔ)和定義、型號(hào)命名、工作環(huán)境、要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、搬運(yùn)和運(yùn)輸、貯存等。適用于晶體硅光伏電池用板式 PECVD 設(shè)備。
本文件適用于沉積多種薄膜材料，例如，非晶硅（a-Si:H）、微晶硅（μc-Si:H）、二氧化硅（SiO2）、氧化鋁（Al2O3）、氮化硅（SiNx）薄膜等本征薄膜以及各種摻雜薄膜材料等，薄膜光伏電池、柔性光伏電池用 PECVD 設(shè)備也可參照使用。
海上風(fēng)力發(fā)電機(jī)組調(diào)試技術(shù)規(guī)程微波無(wú)源器件用高溫超導(dǎo)薄膜技術(shù)規(guī)范信息技術(shù) 數(shù)字孿生 第2部分：數(shù)字實(shí)體高壓直流輸電系統(tǒng)控制與保護(hù)設(shè)備 第6…高壓直流輸電系統(tǒng)控制與保護(hù)設(shè)備 第5…電動(dòng)汽車負(fù)荷聚合系統(tǒng) 資源接入通信…繼電保護(hù)和安全自動(dòng)裝置運(yùn)行管理規(guī)程電視收視率調(diào)查準(zhǔn)則
電業(yè)安全工作規(guī)程（發(fā)電廠和變電所電…電力生產(chǎn)企業(yè)安全設(shè)施規(guī)范手冊(cè)電力建設(shè)安全工作規(guī)程第1部分：火力…電業(yè)安全工作規(guī)程（電力線路部分）火力發(fā)電廠設(shè)計(jì)技術(shù)規(guī)程工業(yè)企業(yè)照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)【作廢】《建筑照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》條文說(shuō)明農(nóng)村安全用電規(guī)程【作廢】
