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半導(dǎo)體制造設(shè)備人機(jī)界面規(guī)范

標(biāo) 準(zhǔn) 號： SJ/T 11763-2020
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位： 工業(yè)和信息化部電子第五研究所
發(fā)布日期： 2020-12-09
實(shí)施日期： 2021-04-01
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更新日期： 2022年01月07日
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內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體制造設(shè)備人機(jī)界面的術(shù)語和要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備。

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