本標準規定了俄歇電子能譜和部分類型的 X射線光電子能譜檢測信號對應樣品區域的確定方法。
本標準適用于俄歇電子能譜儀和具有以下條件的 X射線光電子能譜:入射 X光束激發的樣品區域 大于分析器可檢測到的樣品區域;光電子從樣品到分析器入口的過程中經過自由空間;裝配有輔助電子 槍可以產生一束可變能量的電子束照射到樣品上。