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表面化學分析原子力顯微術二硫化鉬片層材料厚度測量方法

標準號： GB/T 40128-2021

替代情況：

發布單位：國家市場監督管理總局國家標準化管理委員會

起草單位：國家納米科學中心、上海納米技術及應用國家工程研究中心有限公司、上海市計量測試技術研究院

發布日期： 2021-05-21

實施日期： 2021-12-01

點擊數：

更新日期： 2021年07月15日

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內容摘要

本文件規定了利用原子力顯微術測量層狀二硫化鉬納米片厚度的測量方法。
本文件適用于轉移或生長在固體襯底表面的層狀二硫化鉬納米片厚度的測量,測量范圍從單層二硫化鉬納米片至厚度不大于100 nm，其他類似的納米片層材料厚度測量也可參照此方法進行。

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表面化學分析 原子力顯微術 二硫化鉬片層材料厚度測量方法

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