本部分規(guī)定了納米科技在納米制造過(guò)程中的相關(guān)術(shù)語(yǔ)和定義，是 覆蓋納米科技不同方面的術(shù)語(yǔ)和定 義中的一部分。 本部分的術(shù)語(yǔ)均與納米制造相關(guān)，有些過(guò)程可能并不局限于納米尺度，根據(jù)可控條件,這些過(guò)程會(huì) 導(dǎo)致材料的特性在納米尺度甚至更大尺度。本部分不包括其他術(shù)語(yǔ)如工具、組件、材料，以及與納米制 造相關(guān)的系統(tǒng)控制方法或計(jì)量方法