本標準規定了納米尺度相變存儲單元讀寫擦參數的晶圓測試規范,其測試結果可用于表征相變存儲材料或器件的電學可操作性能。?本標準適用于以硫系化合物為主要原料,基于半導體晶圓工藝加工制造的電極尺度小于100 nm的相變存儲單元,100 nm~300 nm的相變存儲單元也可參照本標準執行。?本標準不適用于包含外圍驅動電路的存儲單元。?
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