本標準規定了利用輝光放電發射光譜測定金屬氧化物膜厚度、單位面積質量和金屬氧化物膜化學組成的方法。
本方法適用于測定金屬上厚度為1 nm～10000 nm的氧化物膜，氧化物的金屬元素包括鐵、鉻、鎳、銅、鈦、硅、鉬、鋅、鎂、錳和鋁中的一種或多種。其他可測元素還包括氧、碳、氮、氫、磷和硫。