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電子工業(yè)用氣體 六氟化硫

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 18867-2014
替代情況： 替代 GB/T 18867-2002
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 黎明化工研究設(shè)計院有限責(zé)任公司、成都科美特氟業(yè)塑膠有限公司、青海信禾高精化工有限公司
發(fā)布日期： 2014-12-22
實施日期： 2015-07-01
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更新日期： 2017年06月08日
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內(nèi)容摘要
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了六氟化硫的技術(shù)要求、試驗方法、標(biāo)志、包裝、貯存及安全等。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于硫與氟直接反應(yīng)并經(jīng)精制和純化制備的六氟化硫。該產(chǎn)品主要用作電子工業(yè)中化學(xué)氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等。 分子式:SF6。 相對分子質(zhì)量:146.0564192(按2007年國際相對原子質(zhì)量計算)。
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