本標準規定了輝光放電發射光譜法測定材料表層薄膜的厚度、質量（單位面積）和化學成分的方法。?本標準僅限于輝光放電發射光譜法深度剖析定量化通用規程的描述，并不能直接應用于具有不同厚度和元素的待測個體材料的定量化。?注： 任何一個針對測試材料表面分析的標準均需要明確表層厚度和分析元素，并提供實驗室間共同實驗結果以確認方法的有效性。