本標準規(guī)定了常規(guī)分析中一種評估X射線光電子能譜儀強度標的重復性和一致性的方法,采用非單色Al/Mg或單色AlX射線源。本標準只適用于裝有濺射離子槍的儀器。本標準不做強度/能量響應函數(shù)的校準。此校準應由儀器制造廠家或其他合格機構(gòu)完成。本標準提供的數(shù)據(jù)用于評估和確認儀器使用期間強度/能量響應函數(shù)保持恒定的準確度。本標準提供了一些可能會影響一致性的儀器設置指導意見。