本標準規定了用于表面元素和化學態分析的俄歇電子能譜的動能標校準方法。并且還規定了校準日程安排,用于在中間某一能量值測試動能標線性、在高低動能區各取一點確認標尺校準的不確定度、校正標尺小漂移以及規定在95%置信度時該動能標校準的擴展不確定度(這個不確定度包括實驗室之間研究中觀察到的各種現象,但不涵蓋所有可能的缺陷)。
本標準僅適用于配備濺射清潔離子槍的儀器。不適用于以下情況的儀器:動能標尺的誤差隨能量明顯非線性變化;工作于譜儀的相對分辨率低于0.2%的固定ΔE/E 模式或固定ΔE 為1.5eV 模式時,要求容差極限為±0.05eV 或更小。也不適用于電子槍不能在5keV~10keV 能量范圍操作的儀器。