本標準規定了三種條件下測量俄歇電子能譜儀和X射線光電子能譜儀橫向分辨率的方法。直邊法適用于橫向分辨率預期值大于1μm 的儀器。柵格法適合于橫向分辨率預期值大于20nm,小于1μm 的儀器。金島法則適用于橫向分辨率預期值小于50nm 的儀器。
附錄A、附錄B和附錄C給出了測量橫向分辨率的帶圖的實例。