本標準規(guī)定了俄歇電子譜儀動能標不確定度為3eV 時的校準方法,用于識別表面常規(guī)元素。另外,還規(guī)定一種用于確定校準周期的方法。本標準適用于直接模式或微分模式的儀器分辨率小于等于0.5%,微分模式調(diào)制幅度的峰峰值為2eV。