本標準規定了四氟化硅的技術要求、試驗方法、標志、包裝、運輸和貯存等內容。
本標準適用于螢石硫酸法、六氟硅酸鹽熱分解法、單質硅直接氟化法制備的四氟化硅。它主要用作電子工業中等離子蝕刻、發光二極管 P形摻雜、離子注入工藝、外延沉積擴散的硅源和光導纖維用高純石英玻璃的原料,也是生產多晶硅的重要原料。
分子式:SiF4。
相對分子質量:104.0786128(按2009年國際原子相對質量)。