本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氧的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法、電解法提取的氣態(tài)或液態(tài)氧,以及經(jīng)純化方法得到的氧。它們主要用于二氧化硅化學(xué)氣相淀積,用作氧化源和生產(chǎn)高純水的反應(yīng)劑,用于等離子體蝕刻和剝離、光導(dǎo)纖維。