本標準規定了采用電感耦合等離子體原子發射光譜（ICP-AES）法測定半導體拋光液用硅溶膠中雜質元素含量的方法。
本標準適用于半導體化學機械拋光（CMP）中拋光液用的各種硅溶膠。
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