半導體工亞是技術較為先進的高新技術產業, 但在生產過釋中產生的污染問題, 同樣不能被忽略, 其中、工藝慶氣污染問題是特別值得關注的。本文針對半導體芯片制透業產生叻工藝廢氣的污染洽理及風險防范進行了研究。